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Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

dc.creatorShirkavand, Nazanin
dc.date2013-02-05
dc.date.accessioned2024-10-07T21:39:29Z
dc.date.available2024-10-07T21:39:29Z
dc.identifierhttps://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/2238/15575
dc.descriptionUna investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el númeroposible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM).es-ES
dc.formatapplication/pdf
dc.languagespa
dc.publisherInstituto Tecnológico de Costa Ricaes-ES
dc.relationhttps://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707/638
dc.sourceInvestiga.TEC; Núm. 14 (2012); pág. 16-17es-ES
dc.source1659-3383
dc.titleOptimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentoses-ES
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/article
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.typeArtículo revisado por pareses-ES


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  • Investiga.TEC [50]
    Es una revista que se publica tres veces al año

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