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Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

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https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707
Autor
Shirkavand, Nazanin
Metadatos
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Descripción
Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el númeroposible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM).
Fuente
Investiga.TEC; Núm. 14 (2012); pág. 16-17 , 1659-3383 .
URI
https://hdl.handle.net/2238/15797
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